2013年2月2日土曜日

スパッタリング条件検討 さらに続き

 
耐熱性のあるガラスのチャンバは出来ました。いざ電圧を上げてさらに条件検討です。

もう床がプラズマの海になっても大丈夫...とはいうものの、やはり「チャンバの中央部分にターゲットと基板がある」というスパッタ装置のスタンダードを意識して、その実験から着手。

ちょいと写真が見にくいですが、上からターゲットを吊り下げて、下からアルミブロックを重ねて一番上に基板を置いたレイアウトです。


全景はこんな感じ。この横に真空ポンプ。


で、通電。今までの3杯くらい電圧をかけています。1kVはかかっているはず。ターゲットだけでなく、対極から離れた上側のボルトまで全体が強いプラズマに包まれます。
......と思ったら変なにおいが、続いて煙が。ボルトをとめたエポキシがぷすぷすいってます。まずいです。


電圧を思い切りかけているので発熱もはんぱないようです。考えてみれば電流制限なんてしてませんので、ざっと1kVで100mAくらいは流れてるでしょう。ざっと100Wです。すごい発熱のはずです。

で、仕切りなおし。もう一回だけ上をターゲットにして挑戦。

ボルトにウレタンチューブをかぶせて、


こんな感じのものを作ってみました。
これでボルト部分は絶縁されませんのでプラズマは発生しない、よって発熱もなし。というまことにうまい解決策。


 いざ通電。こちらは動画で。


 いやあ、大失敗です。
 ウレタンチューブが見る見る溶けて真空ポンプの排気から異様な臭いが。
考えてみれば当たり前の話です。確かにチューブの部分はプラズマが発生しませんが、チューブの先端にはとんでもない温度の金属塊があるのです。ウレタンごときが持つわけありませんでした。

もう見てくれを気にするのはやめます。
床をプラズマの海にすることに決定です。

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